Химическое Осаждение Из Газовой Фазы

Химическое Осаждение Из Газовой Фазы в Энциклопедическом словаре:
Химическое Осаждение Из Газовой Фазы - получение твердых веществ с помощьюхимических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используютдля получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных имонокристаллических пленок (напр., в планарной технологии), нитевидныхмонокристаллов (''усов''), барьерных слоев (предотвращающих разрушениепокрытий на соплах ракет), при изготовлении различных изделий сложнойконфигурации и др.

Химическое Оружие    Химическое Осаждение Из Газовой Фазы    Химическое Равновесие