Ионно-сорбционный насос

Определение «Ионно-сорбционный насос» по БСЭ:
Ионно-сорбционный насос - Вакуумный насос, в котором химически активные газы удаляются за счёт сорбции их геттерами, а инертные газы - в результате интенсивной ионизации в виде ионов под действием электрического поля. С помощью И.-с. н. достигают разрежения 10−7 н/мІ (10−9 мм рт. ст.).

Ионная электропроводность    Ионно-сорбционный насос    Ионно-электронная эмиссия